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  • 李运锋

    李运锋,男,博士,高级工程师。1976年出生,汉族,籍贯河南,2006年7月毕业于上海交通大学自动化系,获控制理论与控制工程专业博士学位。

    编辑摘要

    目录

    个人概况/李运锋 编辑

    同年进入上海微电子装备有限公司,从事高端光刻机对准技术的研发和项目管理工作,历任系统工程师、技术主管、部门副经理。在国内外期刊发表公开发表论文16篇,其中SCI收录2篇(次),EI收录6篇(次),申请发明专利50余项。

    研究方向/李运锋 编辑

    李运锋博士一直从事超高精度(纳米级)测量技术的研发工作,目前主要的研究方向基于衍射光栅的硅片对准测量技术、机器视觉技术,以及后端的信号处理技术和图像处理技术。

    同时,在工程项目中,主要从事系统设计和项目管理工作,组织和领导相关学科的设计工程师(光学设计工程师、机械工程师、软硬件设计工程师等),从事项目的开发和工程实现工作。

    项目经历/李运锋 编辑

    2000-2002年,机器人变结构控制技术的研究 ;

    2002-2006年,生物发酵过程先进控制技术的研究;

    2006-目前,从事高端光刻机对准技术的研发工作(项目属于‘863’专项和“国家重大科技专项”)

    获得的荣誉/李运锋 编辑

    发明专利“光刻技术中对准信号的处理方法”(ZL200910049046.1)获得国家知识产权局“2010年度百件优秀中国专利项目”;

    2008、2009年度,两次获得上海微电子装备有限公司“优秀员工“”荣誉称号;

    2008、2009年度,两次获得上海微电子装备有限公司“专利十佳”荣誉称号;

    2009年度,获得上海微电子装备有限公司“专利成果奖”;

    2010年度,获得上海微电子装备有限公司第一届技术论坛论文鼓励奖;

    2010年度,被授予上海微电子装备有限公司“专利成就铜奖”

    发表论文/李运锋 编辑

    1. 李运锋,韦学志,宋海军,徐荣伟,基于粗对准与精对准分开探测的对准系统,光学与光电子技术,2009,7(6):61-64  

    2. 李运锋,王海江,韦学志,宋海军,用于光刻装置的多光栅标记对准系统,微纳电子技术,2009, 46(8):494-497

    3. Yunfeng Li, Jingqi Yuan, Prediction of key state variables usingsupport vector machines in bioprocesses, Chemical Engineering & Technology,2006, 29(3): 313-319.(SCI: 022KZ, EI: 06129764099)

    4. Yunfeng Li, Zhifeng Wang, Jingqi Yuan, On-line fault detection usingdynamic SVM-based MPLS for batch processes, Chinese Journal of ChemicalEngineering, 2006,14(6): 754-758. (SCI: 122ZM, EI: 20070210357871)

    5. 李运锋,袁景淇,头孢菌素C发酵过程状态变量及效益函数预报方法,化工学报,2005, 56(7): 1281-1283. (EI:05359331303)

    6.李运锋,袁景淇,生物发酵过程效益函数的在线预报,上海交通大学学报,2005,39(8):1341- 1343 + 1348. (EI: 05399387318)

    7. 李运锋,袁景淇,薛耀锋,发酵过程中神经网络训练样本的选取,化工自动化及仪表,2004, 31(6):21-24. (EI:05279198086)

    8. 李运锋,袁景淇,薛耀锋,生物发酵过程关键变量预报系统设计及应用,计算机工程,(EI 源),2005,31(23): 183-185.

    9. 李运锋,袁景淇,神经网络预报在发酵过程异常诊断中的应用,生物工程学报,2005,21(1):102-106.

    10.王卓,袁景淇,李运锋,多罐并行发酵过程的弹性停罐调度策略,上海交通大学学报,2004,38(9): 1548-1551.(EI:04538760045)

    11. 薛耀锋,袁景淇,李运锋,王卓,基于COM的发酵过程调度优化软件开发,微型电脑应用, 2004,20(8): 33-35.

    12. 焦晓红,耿秋实,方一鸣,李运锋,液压伺服并联机器人的自适应鲁棒跟踪控制,系统仿真学报,2003:15(3):401-403

    13. 焦晓红,李运锋,方一鸣,耿秋实,一种机器人鲁棒自适应控制法,机器人技术与应用,2002,3:40-43

    14. 焦晓红,耿秋实,方一鸣,李运锋,并联机器人的鲁棒自适应控制,机器人技术与应用,2002,4:22-25

    15. 李运锋,焦晓红,耿秋实,方一鸣,一种具有全局稳定的L2增益机器人控制器设计方法,自动化理论、技术与应用.2002,9:212-216

    16. 耿秋实,焦晓红,方一鸣,李运锋,并联机器人的H∞鲁棒自适应控制,自动化理论、技术与应用,2002,9:78-82

    发明专利/李运锋 编辑

    1. 李运锋,基于机器视觉的光刻装置对准系统与对准方法,CN200810034477.6

    2. 李运锋、陈延太、韦学志、陈勇辉、周畅,硅片对准信号的处理方法,CN200810035115.9

    3. 李运锋、王海江、赵新、韦学志、宋海军,一种硅片标记捕获系统与方法,CN200910047030.7

    4. 李运锋、王海江、赵新、陈延太、韦学志,光刻技术中对准信号的处理方法,CN200910049046.1

    5. 李运锋、韦学志、徐荣伟、陈勇辉、周畅,一种用于光刻机对准的标记以及使用该标记的对准方法,CN200710045495.X

    6. 李运锋、韦学志、徐荣伟、陈勇辉、周畅,对准系统和对准标记,CN200710045496.4

    7. 李运锋、韦学志、徐荣伟、宋海军,用于光刻设备的对准系统、对准方法及增强型对准标记,CN200810039465.2

    8. 李运锋,对准标记的对准扫描方法,CN200910200223.1

    9. 李运锋、王海江、韩悦、胡明辉,用于光刻设备的对准信号采集系统与对准方法,CN200910201611.1

    10. 李运锋、王海江、宋海军、韦学志,光刻机的对准信号的周期测校方法,CN200910247635.0

    11. 李运锋、赵新、韩悦、韦学志,对准标记测量信号处理方法,CN201010177516.5

    12. 李运锋,一种信号归一化掩模对准系统,CN201010250440.4

    13. 李运锋,一种环境补偿对准系统,CN201010250448.0

    14. 韩悦、李运锋,一种基于多个不同波长的对准方法,CN200910194853.2

    15. 韩悦、李运锋、赵新,基于双光源多级次的对准系统及其对准方法,CN200910052799.8

    16. 韦学志、李运锋、徐荣伟、周畅、陈勇辉,一种用于光刻设备的对准系统,CN200710044152.1

    17. 李欣欣、李运锋、韦学志、宋海军,一种用于光刻设备对准系统的对准标记结构,CN200810040234.3

    18. 李欣欣、李运锋、韦学志、宋海军、张勇,精确确定空间像高大小的方法,CN200910198352.1

    19. 韦学志、李运锋、徐荣伟、周畅、陈勇辉,用于投影扫描光刻机的对准方法及微器件制造方法,CN200710044153.6

    20. 陈振飞、李运锋、张勇,一种使用信号处理的方法进行硅片对准的对准系统及方法,CN200810041493.8

    21. 陈延太、宋海军、李运锋,光刻机硅片对准信号的处理方法,CN200910055927.4

    22. 程鹏、韦学志、李运锋、王海江、唐文力、陈振飞、刘强,对准光强信号采集与解调装置,CN200810204355.7

    23. 杜聚有、徐荣伟、宋海军、韦学志、李运锋、戈亚萍,一种用于光刻设备的对准系统及对准方法,CN200810041152.0

    24. 唐文力、王海江、凃泽恩、宋海军、李运锋,掩模对准系统及其方法,CN200810203806.5

    25. 王海江、程鹏、李运锋、唐文力、陈振飞、刘强、宋海军、韦学志、胡明辉,用于光刻设备的对准标记搜索系统及其对准标记搜索方法,CN200910046308.9

    26. 徐荣伟、韦学志、李运锋、周畅、李铁军,一种光刻装置和用于光刻装置的对准系统及对准方法,CN200710045580.6

    27. 徐荣伟、韦学志、李运锋、周畅、李铁军,一种对准标记和对其成像的光学系统以及成像方法,CN200710045579.3

    28. 韩悦、李运锋,一种标记期望位置确定方法,CN201010619057.1

    29. 胡明辉、李运锋,用于光刻装置的对准系统及对准方法,CN201010137228.7

    30. 朱正平、李运锋、宋海军、韦学志,一种提高对准精度的对准扫描方法,CN201010582193.8

    31. 胡明辉、李运锋,掩模对准自适应扫描方法,CN201110086178.9

    32. 朱正平、李运锋、宋海军、李欣欣,离轴信号处理方法,CN201110187349.7

    33. 陈小娟、李运锋、赵正栋,光刻机掩模的对准扫描方法及对准信号处理方法,CN201110187358.6

    34. 赵正栋、李运锋、陈小娟、赵新、宋海军,光刻设备对准方法,CN201110074407.5

    35. 钟芳、李运锋、王海江、宋海军,用于光刻设备的集成传感器,CN201110086796.3

    36. 王海江、李运锋、唐文力、程鹏、曹佩、宋海军,用于掩模对准的探测器系统及方法,CN201110204032.x

    37. 陈小娟、李运锋、赵正栋、赵新,用于掩模对准的对准信号采集系统及对准方法,CN201110272730.3

    38. 王海江、李运锋、唐文力、程鹏、曹佩、宋海军,一种自动增益系统信号与增益同步采集装置与方法,CN201010621219.5

    39. 韩悦、韦学志、李运锋、宋海军,基于多周期标记的色动态选择方法,CN200810033263.7

    40. 朱正平、李运锋、韦学志、宋海军,一种提高对准扫描成功率的方法,CN200910199599.5

    41. 王海江、唐文力、李运锋程鹏、陈振飞宋海军、韦学志、胡明辉,一种用于DUV光刻装置的掩模对准面形探测装置,CN201010135955.x

    42. 戈亚萍、徐荣伟、李运锋,一种激光束偏移测量装置和方法,CN201110068068.x

    43. 陈延太、宋海军、韦学志、李运锋、王海江,一种基于正交化模型的离轴信号处理方法、装置及系统,CN201010164981.5

    44. 唐文力、王海江、陈振飞、程鹏、李运锋,一种电光相位调制器谐振频率检测装置及检测方法,CN201010118296.9

    45. 王海江、王诗华、戈亚萍、唐文力、李运锋、程鹏、陈振飞、宋海军、韦学志、胡明辉,硅片对准光源幅度调制装置,CN201010173160.8

    46. 王海江、唐文力、程鹏、陈振飞、李运锋、宋海军、韦学志,一种对准信号模拟发生装置,CN201010292198.7   

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