纳米(nanometer或nm)是英文nano的译名,最早表示的是一种长度单位,原称毫微米,就是10的-9次方米(10亿分之一米)。纳米结构通常是指尺寸在100纳米以下的微小结构。后衍生出众多概念,如纳米技术、纳米材料、纳米科技等。[1][5][6] 物质到纳米级以后,具有常规粗晶粒材料不具备的奇异特性和反常特性,如原本导电的铜到某一纳米级界限就不导电,原来绝缘的二氧化硅、晶体等,在某一纳米级界限时开始导电;[7]高分子材料加入纳米材料制成的刃具,比金刚石制品还坚硬等。[8] 利用纳米材料特异的光、电、磁、热、声、力、化学和生物学性能,纳米材料被广泛应用于宇航电子、化工、冶金、军事、核工业、医学和生物工程等国民经济发展的许多领域。不仅在高科技领域有不可替代的作用,也为传统产业带来生机和活力。[8]
1981 年,人类通过扫描隧道显微镜,第一次正式开启了对纳米尺度世界的科学观测与研究。[9]截至2023年,ASML Holding是唯一一家生产和销售用于芯片生产的EUV系统的公司,目标是5纳米和3纳米工艺节点。[10][11]
概念