四氟化碳
无机化合物
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四
氟
[
fú
]
化碳,
化学式
为CF4,又称为四氟甲
烷
[
wán
]
、
Freon-
14及R 14。它是一种
卤代烃
,也可以被视为一种
无机化合物
。在常温常压下,四氟化碳为无色气体,不溶于水,但溶于苯和
氯仿
。它具有
单斜
的结构,在零下198°C时,晶格
常数
为a = 8.597, b = 4.433, c = 8.381 (.10-1 nm),β = 118.73°。四氟化碳主要用于各种
集成电路
的
等离子
刻蚀
工艺,也用作
激光
气体、低温
制冷剂
、
溶剂