陈大鹏

中国科学院合肥工业大学教授

条目

陈大鹏，男，1968年10月出生，博士、研究员。曾任中国科学院微电子研究所副所长。^[1]

人物经历

1990年毕业于合肥工业大学化学系高分子专业，1995年于中国科学技术大学获高分子化学理学硕士学位，2000年于中国科学技术大学获核技术及应用工学博士学位。研究领域为微细加工技术。

从硕士研究生开始即从事新型X射线光刻胶及下一代光刻技术工艺的研究，硕士论文题目为《新型X射线光刻胶的研制》，博士论文题目为《利用同步辐射的微细加工技术》，在同步辐射（X射线）光刻及微细加工领域作过多年应用技术研究，作为主要骨干参加多项重大国家科技攻关项目。