激光干涉仪

通用长度测量工具
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激光干涉仪是一种以激光波长为已知长度、利用迈克尔逊干涉系统测量位移的通用长度测量工具。[1]
激光干涉仪有单频的和双频的两种，单频的是在20世纪60年代中期出现的，最初用于检定基准线纹尺，后又用于在计量室中精密测长；双频激光干涉仪是1970年出现的，它适宜在车间中使用。[1]

介绍

激光具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。目前常用来测量长度的干涉仪，主要是以迈克尔逊干涉仪为主，并以稳频氦氖[nǎi]激光为光源，构成一个具有干涉作用的测量系统。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。英文名称：laser interferometer

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