二氯硅烷
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二氯硅（化学式：H2SiCl2，简称：DCS）是一种无机化合物，相对分子量为101.007。它是一种易燃物质，其蒸气可与空气形成爆炸性混合物，遇热源和明火有燃烧爆炸的危险。二氯硅烷与卤素及其它氧化剂剧烈反应，遇水或水蒸气剧烈反应，生成盐酸烟雾。二氯硅烷的主要用途是在半导体生产中，在化学气相沉积室中与氨混合，可以生长氮化硅薄膜。
理化特性
二氯硅烷主要成分 纯品，是无色气体，易溶于苯、乙醚等多数有机溶剂，多用于合成硅的有机化合物。熔点-122℃、沸点8.3℃、相对密度(水=1) 1.26、相对蒸气密度(空气=1) 3.59、饱和蒸气压(kPa) 16.716(20℃)、自燃温度(℃) 58、爆炸上限%(V/V) 99.0、爆炸下限%(V/V) 4.1。
危害危险
燃爆危险：本品易燃，有毒，具腐蚀性、刺激性，可致人体灼伤。