微电子技术是随着集成电路,尤其是超大型规模集成电路而发展起来的一门新的技术。微电子技术是研究信息载体的技术,构成了信息科学的基石,其发展水平直接影响整个信息技术的发展水平。其理论基础是19世纪末到20世纪30年代期间建立起来的现代物理学。 微电子技术包括系统电路设计、器件物理、工艺技术、材料制备、自动测试以及封装、组装等一系列专门的技术,涉及固体物理、热力学、统计物理学、材料科学、量子力学、电子线路、信号处理、计算机辅助设计、测试与加工等多个学科领域,微电子技术是微电子学中的各项工艺技术的总和。
概述
微电子技术是一门作用 于半导体上的微小型集成电路系统的技术。微电子技术的关键在于研究集成电路的工作方式以及如何实际制造应用。集成电路的发展依赖于半导体器件的不断演化。微电子技术可在纳米级超小的区域内实现固体内的微观电子运动(包括扩散输运、弹道输运和量子跃迁),电子输运能够实现信息的处理与传递,具有高度集成性。 微电子这一名词最初是指尺度在微米量级,通过控制电子的行为进行功能表达。随着器件尺寸的不断缩小进入纳米尺度,微电子这一名词的内涵也在不断扩大,现在一般认为微电子泛指包含微米和纳米尺度的电子学。当然,有时为了便于区分,也会采用纳电子、微纳电子等说法。