直拉单晶硅

直拉单晶硅
直拉单晶硅是一种材料。

基本介绍

加料-→熔化-→缩颈生长-→放肩生长-→等径生长-→尾部生长
(1)加料：将多晶硅原料及杂质放入石英坩[gān]埚内，杂质的种类依电阻的N或P型而定。杂质种类有硼，磷，锑，砷[shēn]。
(2)熔化：加完多晶硅原料于石英埚内后，长晶炉必须关闭并抽成真空后充入高纯氩[yà]气使之维持一定压力范围内，然后打开石墨加热器电源，加热至熔化温度(1420℃)以上，将多晶硅原料熔化。