微电子机械系统

微型机电装置
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微电子机械系统（Micro-Electro-Mechanical-Systems, MEMS）是指大小在毫米量级以下，构成单元尺寸在微米、纳米量级的可控制的可运动的微型机电装置，是集成微机构、微传感器、微执行器以及信号处理控制等功能于一体的系统。
各国对微电子机械系统有不同的称呼，在美国，用Micro-Electro-Mechanical-Systems（缩写为MEMS）表示，译为微电子机械系统或微机电系统。在欧洲，用Microsystem Technology（缩写为MST）表示，译为微机械技术。在日本，用Micromachine表示，译为微机械。

百科名片

微电子系统是建立在微米/纳米技术（micro/nanotechnology）基础上的21世纪前沿技术，使之对微米/纳米材料进行设计、加工、制造和控制的技术。它可将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统、数字处理系统集成为一个整体单元的微型系统。
这种微电子机械系统不但能够采集、处理与发送信息或指令，还能够按照所获取的信息自主地或根据外部指令采取行动。它用微电子技术和微加工技术（包括硅体微加工、硅表面微加工、LIGA和晶片键合等技术）相结合的制造工艺，制造出各种性能优异、价格低廉、微型化的传感器、执行器、驱动器和微系统。