氧化物半导体

氧化物半导体
氧化物半导体是指一类具有半导体特性的氧化物化合物。[1]

物理特性

氧化物半导体的特点在于其电学性质会随着周围环境气氛的变化而改变。当处于氧化气氛中时,其导电性能增强,这种类型的氧化物被称为氧化型半导体,属于p型半导体。相反,在还原气氛中,其导电性能也会增强,这类氧化物则被称为还原型半导体,属于n型半导体。还有一种情况是,氧化物的导电类型会随着环境中氧气分压的变化而变化,这种氧化物被称为两性半导体。[2]

制备方法

非单晶氧化物可以通过两种主要的方法制备:一是将纯金属在高温条件下直接氧化;二是通过低温化学反应,如金属氯化物与水的复分解反应。对于氧化物单晶的制备,则主要有三种方法:火焰熔融法、熔体生长法和气相反应生长法。