中微半导体设备（上海）有限公司
中国以半导体为主业的企业
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中微半导体设备（上海）股份有限公司（英文：Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China），简称：中微公司，[1]成立于2004年，上海科技创业投资集团成员，位于上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。[3]截至2023年10月，公司董事长为尹志尧。[2]
中微半导体设备(上海)股份有限公司是一家以中国为基地面向全球的微观加工高端设备公司，致力于为全球集成电路和LED芯片制造商提供领先的加工设备和工艺技术解决方案。中微公司基于在半导体装备产业多年耕耘积累的专业技术，跨足半导体芯片前端制造、先进封装、发光二极管生产、MEMS制造以及其他微观制程的高端设备领域，瞄准世界科技前沿，坚持自主创新,服务遍布中国大陆和台湾、新加坡、韩国、德国、意大利等国家和地区的客户。[4]
2021年5月，中微公司成功研制出3nm蚀刻机。同年8月，中微公司开发出小于5纳米刻蚀设备用于若干关键步骤的加工。[5]9月，中微半导体设备（上海）有限公司获得第四届中国质量奖提名奖。[6]10月25日，中微公司宣布其全球第500台MOCVD设备顺利付运。[7]中微公司入选2021年（第28批）新认定国家企业技术中心[8]《2022中国品牌500强》榜单，位列347位。[9]2022年8月，中微公司入围2022中国创新力企业50强榜单。[10]