制程排气系统

制程排气系统
制程排气系统是指在铁（氟）弗龙风管排气系统风管工程中，连接制程机台至主管支管间的二次配排气风管工程。该系统负责收集制程机台产生的多种废气，如酸碱性废气、挥发性有机废气、一般性废气等，并将其通过排气支管、主风管传输至废气处理设备进行处理，最终排放至大气[1]。

制程排气系统的功能

半导体产业在制造过程中不可避免地会使用多种化学物质，为了确保产品的良率，需要精确控制产品所接触环境的空气质量。制程排气系统虽然不是制程生产的必要设备，但它能够创造一个安全的工作环境，使生产人员能够在其中工作。因此，制程排气系统的选择和配置至关重要，包括废气物质的兼容性、排放气体的输送以及各种污染处理设备的选择。

制程排气系统的分类

半导体制程流程中涉及的机台种类繁多，排放物质种类也不计其数。为了避免单一排放处理设施的困难，目前半导体厂房中根据废气特性大致分为酸、毒性（Acid Exhaust）、碱性（Alkali Exhaust）、有机溶剂（Solvent Exhaust）及一般排气（General Exhaust）四个系统：