超高真空

真空类型
按照分子能量来分，真空空间可分为四种类型，近场真空、热真空、低温等离子体真空和高能粒子真空。粒子在每一种真空中飞行的平均能量分别为≤5 eV、≤O.3 eV、≤100 eV和≤40 TeV。在真空室中制得的核聚变等离子体，不属于低温等离子体(≥10 keV)。

定义

按压力等级来分，真空类型分为低真空，中真空，高真空以及超高真空（UHV）。其中通常认为压力在
以下的真空被称为超高真空。这也就是说单位体积内的分子数，只有正常大气压的
。

应用

超高真空通常用于表面科学，这是因为空气中的分子会附着在暴露于空气中的固体表面，并改变了固体的表面特性。即使在
的高真空当中，3秒之内就会有一层分子附着在裸露的固体表面。然而在超高真空中，同样的过程将需要几个小时才能完成，从而能保证表面特性研究的正常开展。在如此超低的压力下，单个分子的平均自由程可达到40Km。也就是说真空腔内的几乎所有分子都会和腔壁发生碰撞。