真空泵
对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备
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历史版本
真空泵（Vacuum Pump）[1]是一种利用机械或物理化学方法抽除封闭容器内气体，产生、改善和维持容器内真空度的设备。[1]真空泵具有产生负压、增加制动力、降低真空室内的气体压力及抽取特殊气体的作用。[8][9][10][11]真空泵主要应用于机械、冶金、化工、医疗、食品、电子、半导体、能源、高能物理、航天航空等领域。[6]
真空泵最早是1654年由奥托·冯·居里克（Otto Von Guericke）发明的，[3]在居里克真空泵的基础上，波义耳（Robert Boyle）和胡克（Robert Hooke）进行了大量的优化设计，设计出一个经过改进的活塞泵。[3]1682年，波义耳（Robert Boyle）提出了双缸泵，豪克斯比（Haukesbee）在1705年制造出了进一步得到改进的双缸泵。[12]19世纪末，弗勒斯（Kaufmann）引入了气缸油泵。[12]到了1912年，盖德发明一个基于全新原理的泵，即分子泵，这种所谓的分子泵能够产生极低的压力。后来在1915年，盖德利用汞蒸汽射流携带的气体分子来实现高真空。这些蒸汽流泵随后得到了大规模的发展，开始逐渐应用于世界各地。[12]
按照工作原理及真空度等的不同，可以将真空泵分为低真空泵、高真空泵、机械式真空泵及射流式真空泵等等多种不同的的类型。[2]不同类型的真空泵其构造和原理也各不相同，常见的真空泵有往复式真空泵、水环真空泵、旋片真空泵和低温泵等。[6][13][14]如往复式真空泵的原理是利用泵腔内活塞做往复式运动，将气体吸入、压缩并排出；低温泵的原理是利用低温表面捕集气体等。[6][15]
真空泵中的关键技术有螺杆干式真空泵技术、驱动电机及控制技术等。[16][17]真空泵具有极限压力、抽气速率、前级压力等多种性能指标，[6]且具有产生负压、增加制动力、降低真空室内的气体压力及抽取特殊气体的作用。[8][9][10][11]从全球真空泵应用领域来看，后期干式真空泵的需求会不断增长；[18]从真空泵市场需求来看，全球的真空泵需求会持不断上涨的趋势。[18]