1666年，英国科学家牛顿（Newton）在玻璃三棱镜分光实验中发现了太阳光谱。[6]1814年，德国物理学家约瑟夫·冯·夫琅禾费（Joseph von Fraunhofer）设计制成了分光装置，并用它观察太阳光。[7]直到1859年末，德国科学家克希霍夫（Kirchhoff）与本生（Bunsen）制成了世界上第一台结构完整的光谱分析仪器，并首次完成了光谱成分的分析，[7]确定了光谱与相应的原子性质之间的简单关系，奠定了光谱定性分析的基础。在此基础上，他们通过光谱分析法首先于1860年从碱金属中发现新元素Rb和Cs。[8]1882年，美国物理学家罗兰（Loran）开始研制的衍射光栅，后用凹球面衍射光栅制成了太阳光谱图。[9]到了现代，美国、德国、瑞士等国家先后研制出了紫外-可见光分光设备、石英光摄谱仪、直读光谱仪等，致使光谱仪器开始进入商品化发展阶段。[8][10]随着技术逐渐成熟，光谱仪进入自动化、光电化阶段，光谱仪的光谱分析速度和光谱分析精度得到的极大提高，并开始应用于各行各业。[10]而光谱仪在中国的发展则是在1949年新中国成立后才逐渐开始，[8]经过几十年的研究和实践，目前中国国内已建立起一个比较完善的光谱仪器研究、设计、生产体系，并且中国产的光谱仪器已经能装备国内科技和国民经济各部门。[7][10]