平带电压(Flat band voltage)就是在MOS系统中、使半导体表面能带拉平(呈平带状态)所需要外加的电压。 概念
平带状态一般是指理想 MOS系统中各个区域的能带都是拉平的一种状态。对于实际的MOS系统,由于金属-半导体功函数差φms和Si-SiO2系统中电荷Qf 的影响, 在外加栅极电压为0 时,半导体表面的能带即发生了弯曲,从而这时需要另外再加上一定的电压才能使能带拉平,这个额外所加的电压就称为平带电压
平带电压计算
平带电压可分为两部分相加,Vfb=Vfb1+Vfb2,Vfb1用来抵消功函数差的影响,Vfb2用来消除氧化层及界面电荷的影响