氟甲烷

无色易燃气体
[][wán]是一种有机化合物化学式为CH3F,也称为甲基氟、氟利昂41、HFC-41。它是一种无色气体,可液化,常温常压下是可燃的。氟甲烷主要用作制冷剂和麻醉剂。在半导体及电子产品的制程中,氟甲烷可用作反应离子刻蚀的选择性蚀刻气体。然而,氟甲烷与空气混合后会形成爆炸性混合物,需要注意安全使用。

基本信息

1.物质的理化常数
CAS号:593-53-3
中文名称:氟甲烷