透射电子显微镜是使用波长很短的电子束为光源的，成像原理与光学显微镜基本一样的电子显微镜，其可以看到在光学显微镜下无法看清的小于0.2um的细微结构，这些结构称为亚显微结构或超微结构。[1][2] 1932年，德国科学家克诺尔（Knoll）和鲁斯卡（Ruska）成功研制出世界上第一台透射电子显微镜(transmission electron microscope,TEM)。经过近90年的发展，TEM分辨率已经从亚微米量级提升至原子尺度级别的亚纳米量级，功能也趋于多样化。截止2023年，广泛应用于材料科学、生命科学、物理学等领域，是科学研究不可或缺的表征工具之一。[1] 正文